Ҡоро Этчинг ҡорамалдары менән тәьмин итеүсе булараҡ, мин был технологияның төрлө тармаҡтарында, бигерәк тә ярымүткәргестәр етештереүҙә, микроэлектромеханик системаларҙа (MEMS) һәм нәҙек - фильм технологияһында иҫ киткес алға китеш һәм тәнҡитле роль уйнауына шаһит булдым. Ҡоро травка — процесс, реактив газдар һәм плазма ҡулланып, субстраттан юғары контролдә тотолған ысул менән материалды сығарыу. Был блогта, мин ҡоро трактирование ҡорамалдарының төп компоненттарына тәрән үтеп инәм, был машиналар нисек эшләүен комплекслы аңлау менән тәьмин итәм.
Газ тапшырыу системаһы
Газ тапшырыу системаһы — ҡоро травма ҡорамалдарының төп өлөшө. Ул аныҡ ҡына кәрәкле реактив газдарҙы трактинг камераһына тапшырыу өсөн яуаплы. Газдарҙы һайлау материалдың травланған булыуына бәйле. Мәҫәлән, фторлы - SF-₆ кеүек газдар йыш ҡына тракировка кремний өсөн ҡулланыла, ә хлор нигеҙендә газдар, мәҫәлән, Cl2 травировка металдары өсөн ҡулланыла.
Газ тапшырыу системаһы, ғәҙәттә, газ цилиндрҙары, масса ағымы контроллерҙары (МФК) һәм газ линияларынан тора. Газ цилиндрҙары баҫым аҫтында реактив газдарҙы һаҡлай. Масса ағымы контроллерҙары мөһим, сөнки улар һәр газдың юғары теүәллеге менән ағым тиҙлеген көйләй. Был мөһим, сөнки травировка тиҙлеге һәм селективлыҡ газ ағымы тиҙлегенә ныҡ бәйле. Газ линиялары газдарҙы цилиндрҙан трактинг камераһына ташый, улар бысраныуҙы минималь кимәлгә еткерергә һәм газ менән тәьмин итеүҙе тәьмин итеү өсөн тәғәйенләнгән. Газ ағымында ниндәй ҙә булһа тирбәлеүҙәр эҙмә-эҙлекһеҙ тракт һөҙөмтәләренә килтерергә мөмкин, шуға күрә газ тапшырыу системаһының ышаныслылығы иң мөһиме.
Плазма генерациялау системаһы
Плазма — ҡоро травировканың йөрәге. Плазма генерациялау системаһы трактинг камераһы сиктәрендә плазма мөхитен булдыра һәм һаҡлай. Плазма генерациялау өсөн бер нисә ысул бар, радио йышлығы (РФ) плазма һәм микротулҡынлы плазма иң таралғаны.
РЧ плазма генерацияһында RF энергия сығанағы камералағы газға алмашлап электр ҡырын ҡулланыу өсөн ҡулланыла. Был ҡыр электрондарҙы тиҙләтә, улар һуңынан газ молекулалары менән бәрелешә, уларҙы ионлаштыра һәм плазма барлыҡҡа килтерә. Йышлыҡ RF ҡөҙрәте үҙгәрергә мөмкин, 13.56 МГц менән стандарт йышлыҡ булып тора, күп ҡоро трактирование системалары.
Микротулҡынлы плазма, икенсе яҡтан, микротулҡын энергияһын ҡулланып, плазма генерациялай. Микротулҡынлы плазма системалары сағыштырмаса түбән баҫымда юғары тығыҙлыҡтағы плазмалар етештерә ала, был трактировать итеү тиҙлеге юғары һәм травировка процесын яҡшыраҡ контролдә тотоуға килтерергә мөмкин. Плазма генерациялау системаһына шулай уҡ электродтар йәки антенналар инә, улар газға ҡөҙрәтте парлаштырыу һәм плазма булдырыу өсөн ҡулланыла. Был компоненттарҙы ентекле проектларға һәм һөҙөмтәле плазма генерацияһын тәьмин итеү өсөн һаҡланырға кәрәк.
Этчинг палатаһы
Этч камераһы ҡайҙа ысын трактирование процесы бара. Ул герметизацияланған мөхит, уны түбән баҫымға эвакуацияларға мөмкин, плазма генерацияһы һәм травание өсөн яраҡлы атмосфера булдырыу. Камера ғәҙәттә материалдарҙан эшләнә, улар трактирование процесында ҡулланылған реактив газдарға ҡаршы тора, мәҫәлән, нержавеющий тимер йәки керамика.
Палата эсендә ике төп майҙан бар: плазма өлкәһе һәм субстрат эйәһе. Плазма өлкәһе — реактив төрҙәр генерациялана һәм субстрат менән үҙ-ара тәьҫир итә. Субстрат тотоусы, шулай уҡ билдәле чак, субстрат урынында тота трактирование процесында. Уны субстраттың температураһын контролдә тотоу өсөн йылытырға йәки һыуытырға мөмкин, был ҡоро травировкала мөһим параметр булып тора. Температура травировка тиҙлегенә, селективлыҡҡа һәм травированный өҫтө сифатына йоғонто яһай.
Камерала шулай уҡ газ инеү һәм сығыу урыны өсөн порттар, шулай уҡ трактинг процесын оптик мониторинг өсөн windows бар. Был тәҙрәләр операторҙарға реаль ваҡытта травканы күҙәтергә һәм кәрәк булғанда төҙәтмәләр индерә.
Вакуум системаһы
Ҡоро трактирование ҡорамалдары өсөн вакуум системаһы мөһим. Ул трактинг камераһын түбән баҫымға эвакуациялау өсөн ҡулланыла, ғәҙәттә, милли - Торр диапазонында Торрға. Плазма тыуҙырыу һәм атмосфера газдары менән теләмәгән реакцияларҙы булдырмау өсөн түбән баҫымлы мөхит кәрәк.
Вакуум системаһы, ғәҙәттә, ҡырыҫ насос һәм юғары - вакуум насосынан тора. Ҡырҡыу насос, мәҫәлән, роторлы лопасть насос, тиҙ кәметергә баҫым камераһында атмосфера баҫымынан бер нисә Торр. Юғары - вакуум насос, мәҫәлән, турбомолекуляр насос йәки криопум, һуңынан артабан баҫымды плазма генерациялау өсөн кәрәкле кимәлгә тиклем кәметә.
Насостарҙан тыш, вакуум системаһына шулай уҡ клапандар, датчиктар һәм торбалар инә. Клапандар камераға газ ағымын контролдә тотоу өсөн ҡулланыла, ә датчиктар камера эсендәге баҫымды күҙәтә. Тотороҡло вакуумды һаҡлау трактирование процесының эҙмә-эҙлеклелеге һәм ҡабатланыусанлығы өсөн мөһим.
Контроль системаһы
Контроль системаһы — ҡоро травма ҡорамалдарының мейеһе. Ул идара итә һәм башҡа бөтә компоненттарҙы координациялай, теүәл һәм ҡабатланған травировка процесын тәьмин итеү өсөн. Контроль системаһын ҡул менән йәки автоматик рәүештә эшләргә мөмкин, был травировка рецептының ҡатмарлылығына ҡарап.
Контроль системаһы, ғәҙәттә, махсуслаштырылған программа тәьминәте менән компьютерҙы үҙ эсенә ала. Программа операторҙарға трактирование параметрҙарын индереү мөмкинлеген бирә, мәҫәлән, газ ағымы тиҙлеге, РЧ ҡөҙрәте, баҫымы һәм травировка ваҡыты. Артабан ул ҡорамалдарының төрлө компоненттарына сигналдар ебәрә, уларҙы параметрҙарын шуға ярашлы көйләү өсөн.
идара итеү системаһы шулай уҡ процесты реаль ваҡытта күҙәтә, ҡорамалдарҙағы датчиктарҙан мәғлүмәттәр йыйыу. Мәҫәлән, ул баҫым, температура һәм газ ағымы тиҙлеген күҙәтә ала. Әгәр был параметрҙарҙан береһе ҡуйылған ҡиммәттәрҙән тайпылһа, идара итеү системаһы автоматик рәүештә травировка процесының тотороҡлолоғон һаҡлау өсөн төҙәтмәләр индерә ала.
Оптик мониторинг системаһы
Оптик мониторинг системаһы йыш ҡына ҡоро травма ҡорамалдарына интеграциялана, реаль ваҡытта трактирование процесы буйынса кире бәйләнеш тәьмин итә. Был системала оптик ысулдар ҡулланыла, мәҫәлән, интерферометрия йәки спектроскопия, травированный пленканың ҡалынлығын һәм сифатын үлсәү өсөн.
Интерферометрия субстрат өҫтөнән сағылдырылған яҡтылыҡтың интерференция ҡалыбы үлсәмдәрен үлсәй. Интерференция ҡалыбы үҙгәрештәрен анализлап, травланған пленканың ҡалынлығын теүәл билдәләргә мөмкин. Спектроскопия, икенсе яҡтан, плазма йәки травированный материал аша сығарылған йәки һеңдерелгән яҡтылыҡты анализлай. Ул плазманың химик составы һәм травланған ер өҫтө тураһында мәғлүмәт бирә ала, был трактирование селективлығын һәм теләһә ниндәй бысратыусылар булыуын күҙәтеү өсөн файҙалы.
Оптик мониторинг системаһы операторҙарға кәрәкле ваҡытта травланыу процесын туҡтатырға мөмкинлек бирә, травланған пленканың ҡалынлығы һәм сифаты дөрөҫ булыуын тәьмин итеү. Был бигерәк тә юғары теүәллек талап ителгән ҡушымталарҙа мөһим, мәҫәлән, ярымүткәргес етештереүҙә.
Төҙөү системаһы
Ҡалдыҡтар газдарын һәм трактирование процесында генерацияланған продукция буйынса сығарыу системаһы яуаплы. Ҡалдыҡ газдары хәүефле булыуы мөмкин, шуға күрә выхлоп системаһы хәүефһеҙ утилләштереүҙе тәьмин итеү өсөн эшләнгән булырға тейеш.
Ғәҙәттә, выхлоп системаһына скруббер инә, ул токсик һәм коррозиялы газдарҙы сығарыу өсөн ҡулланыла, уларҙы сығарыу ағымы. Скруббер химик реакциялар йәки физик адсорбция ҡуллана, нейтралләштерә йәки зарарлы матдәләрҙе бөтөрөү өсөн. Скруббер аша үткәндән һуң, таҙартылған газдар артабан атмосфераға сығарыла.
Выхлоп системаһына шулай уҡ насос инә, газ ағымын булдырыу өсөн трактинг камераһынан скрубберға тиклем. Был ҡалдыҡтар газдарының камеранан һөҙөмтәле сығарыуын, уларҙы туплауҙы һәм ҡорамалдарға потенциаль зыян килтермәүен тәьмин итә.
Һүҙҙе йомғаҡлап, ҡоро травма ҡорамалдары — бер нисә төп компоненттан торған ҡатмарлы һәм ҡатмарлы машиналар киҫәге. Һәр компонент ҡоро трактирование процесының теүәллеген, һөҙөмтәлелеген һәм хәүефһеҙлеген тәьмин итеүҙә мөһим роль уйнай. [Ҡоро травма ҡорамалдары] ( /ион - травма - ҡорамалдар/ҡоро - traping.html), беҙ юғары - сифатлы ҡорамалдар менән тәьмин итеү өсөн үҙ өҫтөнә ала, улар беҙҙең клиенттар төрлө ихтыяждарын ҡәнәғәтләндерә. Беҙҙең [Плазма Этч нәҙек пленка ҡорамалдары]( /ион - ҡорамалдар/плазма - нәҙек - пленка - ҡорамалдар.html) һәм [Тин пленка һығылмалы ҡорамалдар]( /ион - etching - ҡорамалдар/нәҙек - etch - ҡорамалдар.httml) һуңғы технологиялар һәм юғары стандарттар менән эш итеү өсөн бик яҡшы етештереүсәнлек.
Әгәр һеҙ беҙҙең ҡоро травма ҡорамалдары менән ҡыҙыҡһына йәки компоненттар һәм уларҙы функциялары тураһында ниндәй ҙә булһа һорауҙарығыҙ бар, рәхим итеп, беҙҙең менән бәйләнешкә инеү өсөн һатып алыуҙар һәм артабан фекер алышыуҙар. Беҙ һеҙҙең менән эшләүҙе көтәбеҙ, һеҙҙең травировка маҡсаттарына ирешергә.
Һылтанмалар
- «Плазма разрядтары һәм материалдарҙы эшкәрткән принциптар» М.А.Либерман һәм А.Дж.
- «Питер Ван Zant компанияһының «Миңелеше етештереү технологияһы».
- Ҡоро травма технологияһы буйынса тикшеренеүҙең ҡағыҙҙары академик журналдарҙан, мәҫәлән, вакуум фәндәре һәм технологияһы журналы.
