Йо, халыҡ! Ион трактинг ҡорамалдары менән тәьмин итеүсе булараҡ, мин’ве һуңғы ваҡытта һорауҙар өйөмө ала, йылылыҡ генерациялау хәле беҙҙең шестерня эшләгән ваҡытта. Шулай итеп, мин уйланым, мин ултырырға һәм был блог яҙырға әйберҙәрҙе таҙартыу өсөн.
Беренсенән, әйҙәгеҙ, нимә тураһында һөйләшергә ион трактировать ҡорамалдар ысынында эшләй. Был’s ярымүткәргес һәм микрофабрикация тармаҡтарында хәл иткес ҡорал. Ион травировка ҡулланыла, ер өҫтөнән бик теүәл ысул менән материал сығарыу өсөн. Ул ер өҫтөн иондар менән бомбаға тотоу юлы менән эшләй, улар атомдарҙы һәм молекулалар менән ҡағып, материалды һөҙөмтәле рәүештә травлау. Был процесс супер мөһим әйберҙәр эшләү өсөн микрочиптар кеүек, баҫма схема платалары, һәм башҡа юғары - технологиялар компоненттары.
Хәҙер, йылылыҡ быуыны тураһында һүҙ барғанда, был ярайһы уҡ ҙур эш. Йылылыҡ ҡорамалдар етештереүсәнлегенә һәм ғүмеренә, шулай уҡ травка процесының сифатына ҙур йоғонто яһай ала. Тимәк, нисек йылылыҡ генерациялана ион трактап ҡорамалдар?
Йылы быуын механизмдары
Плазма быуыны
Ион трактинг ҡорамалдарының йөрәге булып плазма тора. Плазма — газ ионлаштырылған, йәғни ирекле электрондар һәм иондар бар. Плазма булдырыу өсөн беҙгә энергия менән тәьмин итергә кәрәк. Ғәҙәттә, был юғары йышлыҡтағы электр ҡырын йәки палата эсендәге газға туранан-тура ток ҡулланыу юлы менән эшләнә. Энергия газ молекулаларына күсерелгәс, улар ҡуҙғыла һәм ионлаштырыла. Был ионлаштырыу һәм ҡуҙғытыу процесы күп йылылыҡ тыуҙыра. Газ молекулаларында химик бәйләнештәрҙе өҙөүгә һәм ирекле электрондар һәм иондар барлыҡҡа килтереүҙең энергияһы ахыр сиктә йылылыҡ булараҡ тарала.
Ион бомбардировка
Плазма барлыҡҡа килгәс, иондар травланған ер өҫтөнә табан тиҙләтелә. Был юғары - энергия иондары ер өҫтөнә һуҡҡанда, улар үҙҙәренең кинетик энергияһын атомдарға һәм молекулалар өҫтөнә күсерә. Был энергия тапшырыу атомдарҙы һәм молекулаларҙы нығыраҡ тирбәлеүгә килтерә, был үҙ сиратында ер өҫтө температураһын арттыра. Бынан тыш, иондар йоғонтоһо ла ҡайһы бер материалды ваҡ киҫәксәләр итеп сығарыуға килтерергә мөмкин. Был процесс, һыу һибеү тип атала, шулай уҡ йылылыҡ тыуҙыра.
Электрик компоненттар
Ион трактировать ҡорамалдары күп электр компоненттары, мәҫәлән, энергия менән тәьмин итеү, контроллерҙар, һәм датчиктар. Был компоненттар электр энергияһын ҡуллана һәм уның бер өлөшөн йылылыҡҡа әйләндерә. Мәҫәлән, энергия менән тәьмин итеү, юғары көсөргәнешле йәки юғары - йышлыҡ ҡөҙрәте генерациялау өсөн плазма эҫе ала, эксплуатация ваҡытында. Электр схемаларында ҡаршылыҡ электр энергияһын йылылыҡ рәүешендә таратыуға килтерә.
Йылылыҡтың йоғонтоһо
Ҡорамалдар етештереүсәнлеге тураһында
Артыҡ йылылыҡ ион трактинг ҡорамалдары өсөн күп проблемалар тыуҙыра ала. Юғары температура электр компоненттарына зыян килтерергә мөмкин. Йылылыҡ сымдарҙағы изоляцияның тарҡалыуына килтерергә мөмкин, был ҡыҫҡа замыканиеға йәки электр етешһеҙлектәренә килтерә. Ул шулай уҡ датчиктар эшмәкәрлегенә йоғонто яһай ала, улар мониторинг һәм контролдә тотоу өсөн мөһим трактирование процесы. Әгәр датчиктар дөрөҫ эшләмәһә, травировка процесы талап ителгәнсә аныҡ булмауы мөмкин.
Этчинг сифаты тураһында
Йылылыҡ шулай уҡ травировка сифатына кире йоғонто яһай ала. Ер өҫтө травланған температураһы бик юғары булғанда, материалдың киңәйеүенә килтерергә мөмкин. Был киңәйтеү тигеҙ булмаған травланыуға килтерергә мөмкин, сөнки иондар киңәйтелгән материал менән төрлөсә үҙ-ара тәьҫир итә ала. Бынан тыш, юғары температура шулай уҡ ҡайһы бер травированный материалды ер өҫтөндә үҙгәртеп ҡороуға килтерергә мөмкин, был травированный ҡалыптың һуңғы формаһына һәм сифатына йоғонто яһай ала.
Беҙ нисек идара итеү йылылыҡ
Һыуытыу системалары
Йылылыҡ генерациялау менән эш итеү өсөн, беҙ ион беҙҙең ион трактировать ҡорамалдар менән йыһазландырыу алдынғы һыуытыу системалары. Һыуытыу ысулдарының иң таралғандарының береһе – һыу һыуытыу. Беҙ һыу ҡулланабыҙ - плазма камераһы тирәһендә һыуытылған курткалар һәм башҡа йылылыҡ - генерациялаусы компоненттар. Һыу йылылыҡты үҙләштерә һәм уны ҡорамалдың температураһын хәүефһеҙ диапазонда тота.
Беҙ ҡулланған тағы бер һыуытыу ысулы – һауа һыуытыу. Беҙ ҡорамалдар эсенә вентилятор ҡуябыҙ, электр компоненттары өҫтөндә һауаны өргә. Күсерелгән һауа компоненттарҙан алыҫҡа алып, йылылыҡты таратыуҙа ярҙам итә.
Термик изоляция
Беҙ шулай уҡ йылылыҡ ҡорамалдың башҡа өлөштәренә таралмаһын өсөн йылылыҡ изоляция материалдарын ҡулланабыҙ. Был материалдар термик үткәреүсәнлеге түбән, тимәк, улар йылылыҡ тапшырыу күләмен кәметергә мөмкин. Мәҫәлән, беҙ керамик йәки быяла сүс изоляцияһы тирәләй плазма камераһы ҡулланырға мөмкин, эсендә йылылыҡ һаҡлау һәм тирә-яҡтағы компоненттарҙы һаҡлау.
Төрлө типтары ион һыныу ҡорамалдары һәм уларҙы йылылыҡ быуыны
Плазма таҙартыу машинаһы
А А.Плазма таҙартыу машинаһы— ион травма ҡорамалдарының бер төрө, уларҙы бысратыусыларҙы бөтөрөү юлы менән өҫтөн таҙартыу өсөн ҡулланыла. Плазма таҙартыу машинаһында йылылыҡ генерацияһы башлыса плазма генерациялау процесына бәйле. Ғәҙәттә, таҙартыу процесы ҡайһы бер башҡа травировка процестары кеүек ион энергияһы кеүек юғары талап итмәй, сөнки ион бомбардировкаһы генерацияланған йылылыҡ сағыштырмаса түбән. Әммә плазма генерацияһы һаман да ҙур энергия ҡуллана һәм йылылыҡ тыуҙыра.
Йоҡа пленка травма ҡорамалдары
Йоҡа пленка травма ҡорамалдарысубстраттағы нәҙек плёнкалар травлау өсөн ҡулланыла. Был ҡорамалдар төрө йыш ҡына юғары тығыҙлыҡ плазма генерацияларға кәрәк, нәҙек плёнкалар аныҡ трактировать өлгәшеү өсөн. Һөҙөмтәлә плазма генерацияһынан йылылыҡ генерацияһы ярайһы уҡ юғары. Бынан тыш, ион бомбардировкаһы нәҙек плёнкалар шулай уҡ күп йылылыҡ генерациялай ала, бигерәк тә ҡасан травировка тиҙлеге юғары.
Ҡоро Этчинг ҡорамалдары
Ҡоро Этчинг ҡорамалдарыҡоро процесты ҡулланған (шыйыҡ химик матдәләр ҡулланмайынса) ион травма ҡорамалдары өсөн дөйөм термин булып тора. Ҡоро трактирование ҡорамалдарында йылылыҡ генерациялау башҡа ион травма ҡорамалдарына оҡшаш, плазма генерацияһы, ион бомбардировкаһы һәм электр компоненттары менән бөтәһе лә йылылыҡҡа булышлыҡ итә. Әммә махсус йылылыҡ генерациялау тиҙлеге ҡулланылған газдың төрө, трактирование процесы параметрҙары һәм ҡорамалдар проектлауына ҡарап үҙгәрергә мөмкин.
Һығымта
Тимәк, унда һеҙгә уны, халыҡ! Бына ни йылылыҡ генерациялау хәле ион трактировать ҡорамалдар эшләү ваҡытында. Күрәһегеҙ, йылылыҡ – төп фактор, беҙгә был ҡорамалдарҙы проектлағанда һәм эшләгәндә ҡарарға кәрәк. Беҙ’ве күп көс һалды, һөҙөмтәле һыуытыу һәм йылылыҡ менән идара итеү ҡарарҙары эшләү өсөн етештереүсәнлеген һәм ышаныслылығын тәьмин итеү өсөн беҙҙең ион трактирование ҡорамалдары.
Әгәр һеҙ баҙарҙа ион трактировать ҡорамалдар, был’ы плазма таҙартыу машинаһы, нәҙек плёнка трактировать ҡорамалдар, йәки ҡоро трактировать ҡорамалдар, беҙ’д һеҙҙең менән һөйләшергә теләйем. Беҙ һеҙгә юғары тәьмин итә ала - сифатлы ҡорамалдар, улар йылылыҡ генерациялау һөҙөмтәле идара итеү өсөн тәғәйенләнгән. Тик беҙгә ярҙам ҡулы һуҙырға, һәм беҙ һеҙҙең аныҡ ихтыяждар һәм беҙҙең ҡорамалдар нисек уларҙы ҡәнәғәтләндерергә мөмкин тураһында фекер алышыу башлай ала.
Һылтанмалар
- "Миңелеше етештереү технологияһы" Стивен С. Вонг
- Александр Фридмандың «Плазма физика һәм инженерия»
