PVD oprema za isparavanje luka

Industrijski PVD sistem isparavanja katodnog luka koristi nisko-naponske, jake{1}}električne lukove za isparavanje čvrstih katodnih ciljeva u vakuumskom okruženju. Ovaj mehanizam postiže stopu jonizacije metala veću od 80%, osiguravajući visoku čvrstoću hemijske veze i adheziju podloge u poređenju sa termičkim isparavanjem ili standardnim magnetronskim raspršivanjem.

Konstruiran za kontinuiranu proizvodnju u više-smjena, sistem integriše vakuumsku komoru od nehrđajućeg čelika teškog-kalibara, modularne sklopove katodnog upravljanja i PLC-baziranu automatizovanu arhitekturu upravljanja procesom.

Visoka efikasnost ionizacije:Direktno isparavanje katode proizvodi potpuno joniziranu metalnu plazmu za rast gustog, -kontrolisanog defektima- tankog filma na umjerenim temperaturama.

Opcija magnetno filtriranog luka:Integrirani elektromagnetni zavojnici upravljača minimiziraju izbacivanje makročestica (kapljica) kako bi pružili glatke završne obrade premaza za precizan alat.

Više-sloj / Gradijentni taloženje:Sinhroni rad sa više-katoda omogućava sintezu stupnjevanih prijelaznih slojeva (npr. Ti/TiN/TiAlN) bez prekida vakuuma.

Zatvorena{0}}Kontrola procesa:Petlje-povratne informacije u realnom vremenu regulišu protok reaktivnog gasa (azot, acetilen, kiseonik) preko -preciznih regulatora masenog protoka (MFC) kako bi se održao ciljni parcijalni pritisak.

Pumpni dimnjak:Primarna gruba obrada koristi dvostepene rotacione pumpe sa lopaticama koje podržavaju Roots duvaljke. Postizanje visokog{2}}vakuma se oslanja na difuzijske pumpe velikog-protočnog protoka ili turbomolekularne pumpe.

ventili i cjevovodi:Pneumatski ugaoni ventili i elektropneumatski zasuni automatski izoluju zone komore. Razdjelnici koriste ISO/KF i CF cijevi od nehrđajućeg čelika s prirubnicom sa posrebrenim-bakarnim zaptivkama ili Viton O-prstenovima.

Detekcija curenja:Integrisani priključci za ispitivanje masenog spektrometra helijuma omogućavaju dijagnostiku do 10^-10 Pa*m^3/s.

Kompatibilni katodni materijali
čisti metali:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, Mo, W, Ag, TiAl legure (npr. atomski omjeri 50/50 ili 33/67).

složene mete:TiC, CrC, WC.

Kompatibilnost supstrata
Čelici za alate:Brzorezni čelici (M2, H13) i cementni karbidi (WC-Co umetci).

Strukturne legure:Nerđajući čelik, legure titanijuma (TC4) i superlegure na bazi nikla-.

Inženjerska keramika:Silicijum nitrid i glinica sa provodljivom pred{0}}obradom.

Alati za rezanje i oblikovanje:TiN, TiAlN, and AlTiN coatings on carbide drills and milling cutters. Achieves surface hardness >= 3000 HV i produžava vijek trajanja alata za 200% - 400%.

Automobilske komponente:Prevlake protiv habanja na klipnim prstenovima, tapovima i iglama za ubrizgavanje goriva. Smanjuje koeficijent trenja na 0.15 - 0.25 prema čeliku.

medicinski implantati: Biocompatible TiN and ZrN layers applied to orthopedic joints and dental abutments, verified via scratch adhesion testing (Critical Load Lc >= 70 N).

Kalupi i kalupi:CrN ili DLC premazi na kalupima za brizganje plastike i štancanje kako bi se eliminisalo habanje ljepila i olakšalo otpuštanje obratka.

Geometrija komore:Konfiguracije utovara u vertikalnom jamu-ili horizontalne prednje{1}}utovarne konfiguracije.

Izgled izvora:Prilagođeno pozicioniranje katode prilagođeno 3D geometrijama izratka (npr. dugačke matrice za ekstruziju ili lopatice turbine).

Nadogradnje bias generatora:Integracija hibridnih modula za magnetronsko raspršivanje velike-impulse (HIPIMS).

Integracija automatizacije:Robotski interfejsi za utovar i automatizovane šine za prenos opreme za okruženje čistih prostorija.

Prije tvorničkog prihvatljivog testiranja (FAT), sistemi prolaze:

Vakuumsko ispitivanje curenja:Verifikacija masenog spektrometra na heliju na svim zavarenim spojevima i zaptivkama.

Provjera električne sigurnosti:Provjera otpora izolacije, kontinuiteta uzemljenja i logičke blokade u skladu sa CE/UL standardima.

Funkcionalno urezivanje-u:72-satni kontinuirani test rada na suho rotacijskih pogona, prekidača protoka i PLC komunikacije.

Testiranje premaza:Taloženje uzorka provjereno putem mjerenja debljine filma-kraterskog filma i Rockwell testiranja ogrebotina udubljenja.

Priprema lokacije:Comprehensive utility layout documentation covering cooling water flow (>15 m^3/h, 20 - 25 stepen C), komprimovani vazduh, ventilacija i električni padovi (380V/480V, 3-fazni, 50/60 Hz).

Puštanje u rad:Instalacija{0}}na licu mjesta, kalibracija vakuuma i optimizacija receptura od strane viših inženjera procesa.

Obuka operatera:Praktično{0}}upute koje pokrivaju rutinsko održavanje, zamjenu meta i rad SCADA.

Nakon{0}}Podrška nakon prodaje:Daljinski dijagnostički pristup putem sigurnog industrijskog VPN-a; zagarantovan tehnički odgovor u roku od 24 sata.