Pregled proizvoda
IAE-Serija ionskih-oprema za tankoslojnu evaporaciju potpomognuta isparavanjem integrira fizičko taloženje parom (PVD) sa bombardiranjem ionskim snopom u stvarnom-vremenu. Usmjeravanjem energetskih jona na supstrat tokom termičkog isparavanja ili isparavanja snopa elektrona, sistem prenosi zamah kondenzirajućim adatomima, restrukturirajući mikrostrukturu rastućeg filma.
Ovaj prijenos kinetičke energije eliminira šupljine u stupovima, potiskuje apsorpciju vlage i blokira indeks prelamanja od promjene vlažnosti okoline. Napravljena za kontinuirani rad u više-smjena u optičkim i poluprovodničkim proizvodnim linijama, platforma radi sa podlogama u rasponu od-precizne laserske optike do silikonskih pločica.
-
![Oprema za vakuumsko isparavanje potpomognuta ionima]()
Oprema za vakuumsko isparavanje potpomognuta ionimaSistem za vakuumsko isparavanje sa ionom{0}}potpomognutim ionima integriše izvore isparavanja visokog{1}}termalnog ili elektronskog-snopa izvora sa Kaufman-tipom ili End{4}}Hallovim jonskim...Prikaži više -
![Sistem za taloženje tankog filma potpomognut ion{0}]()
Sistem za taloženje tankog filma potpomognut ion{0}Sistem za taloženje tankog filma potpomognut ionima integriše više-džepnih elektronskih-snopova/termalno isparavanje sa end-Hallovim ili Kaufmanovim{5}}inskim izvorom visokih performansi. Tokom...Prikaži više -
![Oprema za isparavanje potpomognuta ionskim snopom]()
Oprema za isparavanje potpomognuta ionskim snopomIBAE sistem kombinuje elektronski-snop ili termičko isparavanje sa integrisanim -inskim izvorom jona. Istovremeno ionsko bombardiranje tokom rasta filma prenosi kinetičku energiju kondenzirajućim...Prikaži više -
![Oprema za taloženje tankog filma potpomognuta ionima]()
Oprema za taloženje tankog filma potpomognuta ionimaOprema za taloženje tankih filmova IA-serije-potpomognuta ionima integriše termičko isparavanje elektronskim-snopom sa Kaufmanovim ili End-Hallovim jonskim izvorom. Energetsko ionsko bombardiranje...Prikaži više -
![Sistem tankog filma potpomognutog ionskom evaporacijom]()
Sistem tankog filma potpomognutog ionskom evaporacijomSistem tankog filma potpomognutog isparavanjem ionima (IAE) integrira fizičko taloženje pare (PVD) sa energetskim bombardiranjem jonskim snopom. Tokom termičkog ili isparavanja...Prikaži više -
![Oprema za tankoslojni ion uz potpomognutu evaporaciju]()
Oprema za tankoslojni ion uz potpomognutu evaporacijuIndustrijski-jonski-sistem potpomognutog isparavanja (IAE) koji integriše isparavanje više-džepnih elektronskih-snopova sa energetskim izvorom jonskog snopa (End-Hall ili Kaufman konfiguracija)....Prikaži više
Tehničke specifikacije
|
Parametar |
Specifikacija |
|
Ultimate Base Pressure |
< 5.0 × 10⁻⁵ Pa (achieved within 45 mins via cryogenic/turbomolecular pumping) |
|
Izvori isparavanja |
Više{0}}džepni E- pištolj (4 × 15cc do 40cc) i otporni termalni izvori |
|
Tip izvora jona |
Jonski izvor -Hall/Kaufman{1}} tipa bez mreže (napon snopa: 50 – 1500 V, jonska struja: 0,1 – 3 A) |
|
Kontrola debljine filma |
Kvarc kristalna mikrovaga (QCM) + optički sistem za praćenje (OMS), preciznost ± 0,1 nm |
|
Fiksiranje podloge |
Planetarni rotacijski uređaj, radijus kupole prilagođen geometriji podloge |
|
Zagrijavanje podloge |
Niz zračećih grejača, do 350 stepeni sa ± 2 stepena PID uniformnosti |
|
Control Architecture |
PLC + industrijski PC, automatizirano izvršavanje recepta, evidentiranje podataka u skladu sa SECS/GEM |
Ion{0}}Proces taloženja potpomognutog jonom
Generisanje pare:
Materijal se isparava iz e- lončića ili termalnog čamca pri kontrolisanoj brzini taloženja (0,1 – 2,0 nm/s).
01
Prijenos momenta:
Energetski joni (Ar⁺, O⁺) bombarduju površinu supstrata istovremeno sa pristižućim fluksom pare iz E- snopa ili termalnog izvora.
02
Modifikacija mikrostrukture:
Ionski udar poboljšava pokretljivost površine adatoma, sprečavajući stubast rast zrna i postižući skoro-nasipnu gustinu (gustina pakovanja > 99%).
03
Korekcija stehiometrije:
Pomoć reaktivnim jonima (O₂) osigurava potpunu oksidaciju sub-oksida u filmovima metalnih oksida (npr. Ta₂O₅, Nb₂O₅, SiO₂), eliminirajući apsorpcione trake u UV-NIR spektru.
04
Filmski materijali
oksidi:
SiO₂, Ta₂O₅, TiO₂, Nb₂O₅, HfO₂ (stabilnost visokog indeksa prelamanja za optičke filtere).
fluoridi:
MgF₂, LaF₃ (slojevi sa niskim indeksom prelamanja za širokopojasne AR premaze).
metali:
Al, Ag, Au, Ti (adhezioni slojevi i metalni reflektori).
Prijave
Laserska i precizna optika:
Pojasni filteri, dihroična ogledala i laserski zaštitni premazi koji zahtijevaju visok prag oštećenja izazvanog laserom-(LIDT) i nulti spektralni pomak pod termičkim stresom.
LiDAR pokrivno staklo:
Izdržljivi tanki filmovi protiv -refleksije (AR) i protiv-zaprljanja otporni na jake vanjske vremenske uvjete.
Poluprovodnička ambalaža:
Inkapsulacijski slojevi-barijere i metalni kontaktni jastučići naneseni na niskim temperaturama podloge.
Biomedicinski senzori:
Biokompatibilni premazi za optičke interferencije za dijagnostičke mikrofluidne čipove.
Prilagodba
Komore i unutrašnji rasporedi su projektovani prema specifičnim proizvodnim otiscima i zahtevima procesa:
Dimenzije komore:
Skalabilnost od R=600 mm R&D jedinica do R=1200 mm visokog-proizvodnih sistema.
Paketi za pumpanje:
Može se konfigurisati sa Maglev turbomolekularnim pumpama, kriopumpama i pratećim linijama Roots puhala na osnovu zahteva za opterećenje gasom.
Integracija izvora:
Dual{0}}konfiguracije izvora jona ili postavke ko-ko{1}}kotaloženja za složene legure i višeslojne gradijentne filmove.
Nivo automatizacije:
Integracija sa automatizovanim sistemima za prenos supstrata u čistim prostorima (EFEM / Vacuum cluster alati).
Kontrola kvaliteta
Detekcija curenja:
Svaka vakuumska komora je testirana na curenje-helijuma pomoću masenog spektrometra (brzina curenja < 1,0 × 10⁻¹⁰ Pa·m³/s).
Sljedivost komponenti:
Vakumski ventili, regulatori masenog protoka (MFC) i izvori napajanja od kvalifikovanih Tier-1 industrijskih brendova (MKS, Inficon, PDV).
Tvorničko prihvatljivo testiranje (FAT):
Izvršite-testove potvrđujući osnovni pritisak, krivu pumpanja, stabilnost izvora i 24-kontinuiranu izdržljivost prazne komore prije otpreme.
Validacija mjeriteljstva:
Uzorci su provjereni spektrofotometrom (propusnost/refleksija) i mikroskopijom atomske sile (hrapavost površine Ra < 0,5 nm).
Instalacija i tehnička podrška
Vodič za pripremu lokacije:
Sveobuhvatni zahtjevi za komunalne usluge obezbjeđeni prije isporuke (protok/pritisak rashladne vode, komprimirani zrak u čistim prostorijama, distribucija električne energije, izduvni ventil).
Puštanje u rad po sistemu ključ u ruke:
Inženjeri terenske službe rukovode se mehaničkim sastavljanjem, vakuumskim pečenjem-, kalibracijom snopa jona i potpisivanjem recepta za početni proces-odjavljivanjem- na licu mjesta.
Obuka operatera:
Strukturirana praktična-obuka koja pokriva rutinsko održavanje, sigurnost usisavanja, rad softvera i rješavanje problema.
Podrška životnog ciklusa:
Udaljeno dijagnostičko sučelje za brzo rješavanje problema sa softverom; regionalne zalihe kritičnih habajućih artikala (filamenti, lončići, štitovi) otpremljeni u roku od 48 sati.
FAQ
Dobro smo-poznati kao jedan od vodećih proizvođača i dobavljača opreme za tanke filmove s ionskim-isparavanjem u Kini. Ako ćete kupiti prilagođenu opremu za tankoslojnu ionsku-potpomognutu evaporaciju proizvedenu u Kini, dobrodošli da dobijete cjenik iz naše fabrike. Za konsultacije o cijeni, kontaktirajte nas.
