Poboljšana tanka filmska oprema u plazmi

Poboljšana tanka filmska oprema je čista ionska tehnologija za oblaganje (čista ionska greda), tehnologija visoke energije (ionbeam), magnetronska tehnologija pucanja (pucket) i magnetni zatočeni taložnik pare (magnetni priključni CVD) su četiri tehnologije u jednom, što je savršeno fuzija tehnologije PVD-a i CVD tehnologije.

Poboljšana tanka filmska oprema PLASMA pruža fleksibilniju kombinaciju procesa za ispunjavanje različitih složenih potreba proizvoda, a njegov snažni hibridni proces pruža veće mogućnosti za dizajnere procesa.

Poboljšana tanka filmska oprema u plazmi Kratko uvođenje funkcija opreme:

(1) Izvor čistog ionskog premaza, koristeći efikasan elektromagnetski sistem za filtriranje, učinkovito uklanja čestice, pribavite viši čistoću ionski snop, pomoći poboljšanju tvrdoće premaza i sile obvezanja;

(2) izvor čišćenja visokog energetskog ionskog snopa, koristeći posebno dizajniranu strukturu pražnjenja, učinkovito kompatibilno s aktivacijom čišćenja plazme, pomoćnom jonizacijom, neovisnim taložnom i drugim funkcijama;

(3) izvor sa magnetronom, koristeći inovativni dizajn magnetskog polja, učinkovito poboljšavaju ciljnu brzinu upotrebe više od 30%;

(4) Magnetski zatvoreni izvor pare Izvor, pouzdan i jednostavan za održavanje strukture, može postići brzi i taloženje finog premaza.

Tipični tipovi premaza:

(1) me-tac, metalni tac kompozitni premaz, široko korišten

(2) ME-DLC, metalni DLC kompozitni premaz, široko korišten

(3) ME-TAC-DLC, TAC-DLC kompozitni premazi, uz dobivanje veće osnovne tvrdoće i obvezujuća sila TAC-a, imaju brzinu taloge i fino izgled DLC-a.

Express plazma Poboljšana tanka filmska oprema može realizirati kombinaciju TAC-DLC-a, što uvelike poboljšava obvezujuću silu u usporedbi s jednostavnim CVD-om, a smanjujući veličinu čestica PVD-a i skraćivanje vremena procesa.

Express plazma Poboljšana tanka filmska oprema može postići razne procese C filmskih taložaka, čista ionska ploča TAC, magnetni ispis za zatvaranje DLC, anodni sloj ion izvor itd.

Express plazma poboljšana tanka filmska oprema opremljena je elektromagnetskim uređajem za skeniranje i softveru, koji može kontrolirati repust plazme u fiksnom mjestu i vremenu, uvelike poboljšavajući problem oblikovanja ujednačenosti, a ujednačenost cijelog filma za filmove kontrolira se ispod ± 5%; Ekspresno optimizirano dizajn magnetskog polja i dizajn hlađenja, jednostavno održavanje, dobra stabilnost opreme;

Izričite prijateljsko-mašinsko sučelje, evidentiranje u stvarnom vremenu procesnih podataka, pogoduje kontroli kvaliteta, teškim analizom, razvojem novih procesa;

Express Ovaj projekat je oprema ključ u ruke, kompanija čista izvorna kompanija pruža kompletno rješenje, uključujući stabilnu zrelu formulu premaz.