Pregled proizvoda
PVD kompozitna tankoslojna oprema je industrijska platforma za vakuumsko taloženje dizajnirana za nanošenje više-slojnih, legiranih i nanokompozitnih tankih filmova. Integrišući magnetronsko raspršivanje i izvore katodnog luka unutar jedne vakuumske komore, sistem omogućava preciznu kontrolu nad mikrostrukturom filma, zaostalim naprezanjem i međufaznom adhezijom. Napravljena za kontinuiranu proizvodnju i napredno istraživanje i razvoj, platforma uključuje metalne, keramičke i polimerne podloge sa skalabilnom geometrijom komore.
-
![PVD kompozitna oprema za vakuumsko taloženje]()
PVD kompozitna oprema za vakuumsko taloženjeOva industrijska PVD kompozitna platforma za vakuumsko taloženje integriše više tehnika taloženja u okruženje jedne komore za taloženje jednolikih, više{0}}slojnih metalnih, legiranih ili...Prikaži više -
![PVD hibridni sistem za taloženje tankog filma]()
PVD hibridni sistem za taloženje tankog filmaPVD hibridni sistem za taloženje tankog filma integriše termičko isparavanje, isparavanje elektronskim snopom (e-beam) i RF/DC magnetronsko raspršivanje unutar jedne vakuumske arhitekture. Ova...Prikaži više -
![PVD multi-oprema za tankoslojnu obradu]()
PVD multi-oprema za tankoslojnu obraduPVD Multi-procesna oprema za tanke filmove je integrirana platforma za vakuumsko taloženje dizajnirana da kombinuje više tehnika izrade tankih-filmova—uključujući RF/DC raspršivanje magneta,...Prikaži više -
![PVD kompozitna oprema za taloženje]()
PVD kompozitna oprema za taloženjeIndustrijska PVD oprema za taloženje kompozita je projektovana za više-komponentne, više-slojne i nano-kompozitne tanke{3}}filmove. Sistem integriše termičko isparavanje, e-isparavanje snopa i...Prikaži više -
![PVD kompozitni sistem tankog filma]()
PVD kompozitni sistem tankog filmaIndustrijski{0}}sistem vakuumskog premaza koji integriše magnetronsko raspršivanje (RF/DC/HiPIMS) i katodno isparavanje. Dizajniran za kontinuirano, više-slojno, legirano i nano-kompozitno...Prikaži više -
![PVD kompozitna tankoslojna oprema]()
PVD kompozitna tankoslojna opremaPVD kompozitna tankoslojna oprema je industrijska vakuumska platforma dizajnirana za sintetizaciju više-slojnih, legiranih i gradiranih tankih filmova. Izgrađen na modularnoj arhitekturi od...Prikaži više
Tehničke specifikacije
|
Parametar |
Raspon specifikacija |
|
Ultimativni vakuumski pritisak |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (Cryogenic/Turbomolecular pumping suite) |
|
Radni pritisak |
0,1 Pa - 5.0 Pa |
|
Temperatura podloge |
Ambijent do 800 stepeni (PID-kontrolisana zatvorena{1}}petlja) |
|
Izvori taloženja |
Podesivo: DC/RF Magnetron raspršivanje, pulsni DC, filtrirani katodni luk |
|
Ujednačenost debljine |
< +/- 3% across standard 300 mm substrate carrier |
|
Materijal komore |
Nerđajući čelik 304L/316L, mehanički brušen i elektro{2}}poliran (Ra<= 0.4 um) |
|
Integracija napajanja |
MF generatori (10-100 kHz), RF generatori (13,56 MHz), impulsni DC bias |
|
Kontrolni sistem |
Industrijski PLC + IPC sa automatizovanim izvršavanjem recepta, nadzorom blokade i evidencijom serijskih podataka |
Proces taloženja kompozita
Sistem koristi hibridnu arhitekturu fizičkog taloženja parom koja kombinuje magnetronsko raspršivanje i tehnologije katodnog luka.
Sinergija više-izvora:
Simultani ili uzastopni rad više katoda omogućava nagle ili stepenaste kompozicione prelaze preko sloja filma.
Pred{0}}čišćenje ionskim jetkanjem:
Faze čišćenja RF ili DC plazmom uklanjaju prirodne okside i površinske zagađivače prije taloženja kako bi se maksimalno povećala adhezija premaza-za-podlogu.
Kontrola reaktivnog taloženja:
Optička emisiona spektroskopija zatvorene{0}}optičke petlje (OES) regulira ubrizgavanje reaktivnog plina (O2, N2, C2H2) kako bi se održala stabilna stehiometrija spoja i spriječilo trovanje cilja.
Nagib podloge:
Sinhronizovani impulsni izvori napajanja bombarduju rastući film sa visoko{0}}energetskim jonima, zgušnjavajući mikrostrukturu i prilagođavajući zaostalo tlačno naprezanje.
Filmski materijali
Oprema podržava širok spektar ciljanih materijala za prilagođene funkcionalne zahtjeve:
Nitridi i karbidi prelaznih metala:
TiN, TiAlN, CrN, ZrN, TiCN za otpornost na habanje i koroziju.
Nanokompozitni i višeslojni sistemi:
TiSiN, AlTiSiN, metal/keramički nanoslojevi za ekstremnu tvrdoću i termičku stabilnost na{0} visokim temperaturama.
Transparentni vodljivi oksidi (TCO):
ITO, AZO, IGZO za optoelektronske i fotonaponske aplikacije.
Čisti metali i legure:
Ti, Cr, Al, Cu, nerđajući čelik, NiCr za slojeve elektro-kontaktne i difuzijske barijere.
Prijave
Precizni alati za rezanje:
Nanošenje super-premaza sa niskim- trenjem (npr. TiAlN) na umetke od tvrdog metala, burgije i krajnje{4}}glodalice za produženje radnog vijeka pod visokim termičkim opterećenjima.
Automobilske komponente:
Folije za{0}}smanjenje trenja i habanje-otporne na klipnim prstenovima, dijelovima za ubrizgavanje goriva i sklopovima zupčanika.
Optoelektronika i displeji:
Niska{0}}otpornost, visoka-propustljivost provodnih oksidnih slojeva za dodirne panele i podloge za solarne ćelije.
medicinski uređaji:
Biokompatibilni i{0}}otporni premazi na hirurškim instrumentima i ortopedskim implantatima.
Prilagođavanje i konfiguracija sistema
Inženjerske konfiguracije su prilagođene specifičnim ograničenjima proizvodnog pogona i procesnim receptima:
Veličina komore:
Opcije za cilindrične ili pravougaone komore u rasponu od R&D serijskih sistema (prečnik 500 mm) do velikih-proizvodnih sistema-zaključavanja (1000 mm+).
01
Izbor pumpnog apartmana:
Odgovarajući roots duvaljke, turbomolekularne pumpe i kriogene pumpe na osnovu potrebnih{0}}zastoja pumpe i profila opterećenja gasa.
02
Učvršćivanje podloge:
Prilagođene planetarne rotacije, 3-osi satelitske rotacije ili moduli roll-to-roll dizajnirani za složene 3D geometrije ili kontinuirane mreže.
03
Nivo automatizacije:
Polu-poluautomatizirane konfiguracije ručnog punjenja ili potpuno automatizirani vakuumski prijenosni sistemi s robotskim rukovanjem supstratom.
04
Proizvodnja i kontrola kvaliteta
Detekcija curenja:
Svaka vakuumska komora se podvrgava testiranju curenja helijum masenog spektrometra do praga od < 1 x 10^-10 Pa * m^3 / s.
Inspekcija zavarivanja:
Vakuum{0}}bočni zavari su TIG zavareni, brušeni i polirani, nakon čega slijedi X-provjera penetracije na zahtjev.
Električna i sigurnosna usklađenost:
Kontrolne ploče izgrađene u skladu sa NFPA 79 ili CE/IEC standardima, sa hardverskim blokadama za protok vode, pritisak gasa i električnu sigurnost.
Tvorničko prihvatljivo testiranje (FAT):
Testiranje prije{0}}isporuke uključuje 72-kontinuirano suvo-cikliranje u trajanju od 72 sata, provjeru performansi vakuuma i probno nanošenje premaza koristeći recepte koje je odredio klijent.
Smjernice za pripremu lokacije:Sveobuhvatni dokument sa zahtjevima za objekte pruža detaljne interfejse za komunalne usluge (protok/pritisak rashladne vode, električno opterećenje, komprimirani zrak, izduvni gas).
Na-Puštanje u rad na lokaciji:Inženjeri terenske službe izvode mehaničko poravnanje, provjere curenja vakuuma, električne veze{0}}i početnu kalibraciju.
Podešavanje recepta procesa:-Saradnja na licu mjesta sa klijentima metalurzima i procesnim inženjerima za zaključavanje parametara debljine ciljanog filma, naprezanja i tvrdoće.
Podrška životnog ciklusa:Interfejs za udaljenu dijagnostiku, lokalizirani inventar rezervnih dijelova i planirani programi preventivnog održavanja.
FAQ
Dobro smo-poznati kao jedan od vodećih proizvođača i dobavljača opreme za tankoslojne pvd kompozite u Kini. Ako ćete kupiti prilagođenu pvd kompozitnu tankoslojnu opremu proizvedenu u Kini, dobrodošli da dobijete cjenik iz naše tvornice. Za konsultacije o cijeni, kontaktirajte nas.
ныҡлы нәҙек плёнка ҡорамалдары, нәҙек плёнка характеристикалау ҡорамалдары, Tankoslojna oprema za aplikacije za proizvodnju uređaja za virtualnu stvarnost
