EBE-Serija EBE-Electron Beam Evaporation System je projektovana za fizičko taloženje parom (PVD) metala visoke{1}}tačke-tačke, dielektrika i optičkih materijala. Koristeći magnetski odbijeni, fokusirani snop elektrona direktno na izvorne materijale unutar vode{4}}hlađenih lonaca, sistem postiže visoke stope taloženja uz održavanje vakuumskog okruženja-bez kontaminacije.

Usmjerena na proizvodne linije i napredne istraživačke laboratorije, ova platforma podržava proizvodnju više-slojnih tankih-filmova sa preciznom kontrolom brzine, što je čini pogodnom za optičke filtere smetnji, metalizaciju poluprovodnika i premaze otporne na habanje-.

Tehničke specifikacije

Parametar	Specifikacija
Base Pressure	Manje ili jednako 5 × 10⁻⁷ Torr (postignuto u roku od 45 minuta)
{0}}Ocjena snage pištolja	3 kW do 10 kW (frekvencija pomeranja: 0–100 Hz, programabilno)
Crucible Configuration	4 do 6 džepova; kapacitet od 7 cc do 40 cc po džepu
Faza supstrata	Voda/grijač{0}}hlađena; brzina rotacije 0–30 RPM; dostupna opcija prednapona
Kontrola debljine filma	Dvokanalni QCM kontroler (rezolucija: 0,03 Å); optički nadzor opciono
Dimenzije komore	304L Nehrđajući čelik, elektropoliran; unutrašnji prečnik 500 mm do 800 mm
Pumping Package	Turbo molekularna pumpa (1200 L/s) podržana suvom pumpom sa rotirajućim lopaticama/scroll

Ključne karakteristike

Otklon magnetnog snopa:Geometrija e-pištolja za savijanje od 270 stepeni štiti filament od direktnog-ogleda-pljuvanja materijala, sprečavajući kratke spojeve i degradaciju filamenta.

Zatvorena-Kontrola brzine petlje:Integriše više-kanalne kvarc kristalne senzore sa izlazom algoritma proporcionalnog-integralnog-izvoda (PID) za dinamičko regulaciju struje e-emisije i brzine taloženja.

Modularna paluba Crucible:Mehanizam za indeksiranje koristi ferofluidne prolaze i koračne motore sa direktnim{0}}pogonom za brzo prebacivanje lončića bez čestica-pod vakuumom.

Prepletena sigurnosna arhitektura:Blokiranje na nivou hardvera{0}}nadzire protok rashladne vode, pragove vakuuma i status vrata komore kako bi zaštitili operatere i visokonaponske-komponente.

Konfiguracija vakuumskog sistema

Vakumski pod{0}}sklop je napravljen za osnovnu čistoću i brzi ciklus:

Roughing & Foreline:Bezuljna-suha scroll pumpa (kapacitet: 30 m³/h) eliminiše povratni tok ugljovodonika u glavnu komoru.

Visoki vakuum:Složena turbo{0}}molekularna pumpa podržana elektropneumatskim zasunima i pneumatskim ugaonim ventilima.

Praćenje pritiska:Kombinirani Pirani i Bayard{0}}Alpert mjerači jona isporučuju-povratne informacije u stvarnom vremenu kroz atmosferu do ultra-visokog vakuuma (10⁻⁹ Torr).

Mogućnost pečenja:Opcioni kvarcni infracrveni grijači ili grijači u omotaču omogućavaju termičko otplinjavanje komore da brže dostigne pragove baznog tlaka.

Filmski materijali i podloge

Podržani izvorni materijali
Vatrostalni metali:Ti, Ta, W, Mo, Cr, Ni, Au, Ag, Al, Cu.

Dielektrici i oksidi:SiO₂, TiO₂, Ta₂O₅, Al₂O₃, HfO₂, Nb₂O₅.

Kompatibilnost supstrata
Poluprovodničke pločice:Silicijum od 2 do 8 inča, GaAs, safir.

Optičke podloge:Staljeni silicijum, BK7, Zerodur, germanijum i cink selenid sočiva/prizme.

Fleksibilne podloge:Poliimidne folije (preko specijalizovanih rol-to-kola ili nosača ploča).

Prijave

laserska optika:Taloženje dielektričnih naslaga niskog{0}}raspršenja, visokog-laserskog-praga-oštećenja (LIDT) (TiO₂/SiO₂) za ogledala velike{4}}snage i razdjelnike zraka.

Poluprovodnici i mikroelektronika:Taloženje metala na kapiji, formiranje omskih kontakata i procesi{0}}okidanja metalizacije za diskretne uređaje i senzore.

optoelektronika:Transparentni provodljivi oksidni (TCO) slojevi i isparavanje metalne katode za proizvodnju OLED-a i fotonaponskih ćelija.

Opcije prilagođavanja

Svako proizvodno okruženje ima jedinstven izgled i ograničenja integracije. Fabričke inženjerske modifikacije uključuju:

Geometrija komore:Prilagođeni položaji portova za in-situ dijagnostiku (npr. elipsometrija, SIMS ili RHEED).

Učitaj-integraciju zaključavanja:Linearne magnetne ruke za prijenos ili automatski pneumatski prijenos viljuški za spajanje s klaster alatima ili linijama pretinca za rukavice.

Nagib podloge i grijanje:RF/DC izvori napajanja za ion{0}}potpomognuto taloženje (IAD) i zagrijavanje podloge do 800 stepeni.

PLC & HMI lokalizacija:Siemens S7 ili Allen-Bradley PLC upravljačke arhitekture koje zadovoljavaju specifične protokole automatizacije postrojenja.

Kontrola i testiranje kvaliteta

Ispitivanje curenja:Svaka zavarena komora od nerđajućeg čelika je testirana na curenje helijum masenog spektrometra-na osjetljivost < 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s prije sklapanja.

Visok{0}}test izolacije visokog napona:E-napajanja pištolja prolaze kroz ispitivanje dielektrične otpornosti na 1,5× nazivni napon plus 1000V tokom 60 sekundi.

Tvornički prijemni test (FAT):Sistemi se podvrgavaju kontinuiranom testiranju od 72-sagorevanja-, provjeravajući krivulje brzine pumpanja, e-gun sweep kalibraciju i ujednačenost debljine filma na ispitnim podlogama prije postavljanja u sanduke.

Instalacija i tehnička podrška

Paket dokumentacije:Sveobuhvatni priručnici uključujući električne šeme, P&ID dijagrame, PLC izvorne kodove, sigurnosne listove materijala i certifikate o kalibraciji.

Na-Usluge lokacije:Fabrički{0}}certificirani servisni inženjeri se bave mehaničkim sastavljanjem, priključcima na komunalne usluge (voda za hlađenje, ispušni plin, struja) i testiranjem prihvatljivosti mjesta (SAT).

Daljinska dijagnostika:Sigurna integracija VPN rutera omogućava daljinsko rješavanje problema, optimizaciju parametara i ažuriranje softvera od strane viših inženjera procesa.

Često postavljana pitanja

P: Koje je standardno vrijeme{0}}isključivanja pumpe za postizanje radnog baznog pritiska?

O: Koristeći standardnu konfiguraciju turbo- molekularne pumpe od 1200 L/s, prazna, suha komora dostiže manje ili jednako 5 × 10⁻⁷ Torr za manje od 45 minuta iz atmosfere.

P: Kako sistem sprječava unakrsnu{0}}kontaminaciju između različitih materijala?

O: Sistem koristi ognjište sa više-džepnih lonaca zatvoreno u vodi{1}}hlađeni bakarni blok, u kombinaciji sa automatskim fizičkim sistemom zatvarača koji izoluje džepove tokom faze mirovanja ili pre{2}}taljenja.

P: Može li se ovaj sistem integrirati u postojeći pretinac za rukavice u inertnoj{0}}atmosferi?

O: Da. Nudimo prilagođene prirubnice i konfiguracije zasun ventila na strani komore ili stražnjem zidu za direktno spajanje sa standardnim kutijama za rukavice za rukovanje materijalom osjetljivim na zrak-.