Multi-oprema za vakuumsko taloženje

Ovaj više-lučni sistem vakuumskog taloženja koristi tehnologiju katodnog ionskog oblaganja za nanošenje gustih,-tvrdih premaza visoke adhezije na metalne i ne{2}}metalne podloge. Upaljanjem luka niskog{4}}napona, velike-napone na čvrste katodne mete, materijal se odmah isparava i jonizuje u vakuumskom okruženju. Ubrzani negativnim prednaponom, ioni metala reaguju sa reaktivnim gasovima (N2, C2H2, O2) da bi formirali stehiometrijske filmove jedinjenja.

Dizajniran za industrijske alatnice, proizvođače automobilskih komponenti i nezavisne servisne biroe premaza, sistem pruža ponovljivu tvrdoću filma, niske koeficijente trenja i otpornost na oksidaciju. Svaka mašina je konfigurisana na osnovu propusnosti serije, geometrije supstrata i ciljne arhitekture premaza (jednoslojna, višeslojna ili gradijentna).

Napredni izvori luka magnetnog polja:Katode sadrže optimizovane trajne i elektromagnetne zavojnice za upravljanje putanjama tačaka luka, povećavajući efikasnost korišćenja cilja na preko 55% i smanjujući emisiju kapljica.

Zatvorena{0}}Kontrola protoka gasa:Regulatori protoka mase (MFC) regulišu parcijalni pritisak reaktivnog gasa u realnom-vremenu, održavajući preciznu stehiometriju za složene složene premaze kao što su TiAlN i AlCrN.

Planetarni mehanizam rotacije supstrata:Više{0}}osni pogon rotacije osigurava ujednačenu distribuciju debljine filma (tolerancija unutar ± 5%) preko složenih 3D komponenti i alata za rezanje.

In-Mogućnost ionskog jetkanja:Integrirano čišćenje svjetlećim pražnjenjem i jetkanje metalnim jonima uklanjaju prirodne okside prije taloženja, osiguravajući spajanje sučelja otpornog na grebanje-.

Modularna električna arhitektura:Standardizirani terminalni blokovi i izolovani modularni energetski stalci pojednostavljuju dijagnostiku na terenu i minimiziraju srednje vrijeme za popravku (MTTR).

Taloženje tankog filma{0}}oslanja se na osnovnu dinamiku vakuuma i dinamiku rukovanja plinom, koja se izvodi putem stepenastog pumpnog diktata:

Gruba i srednja faza:Mehaničke mehaničke pumpe sa rotacionim lopaticama sa direktnim{0}}pogonom uparene sa roots duvaljkama evakuišu komoru od atmosferskog pritiska u prelazni opseg (10^-1 Pa).

Stepen visokog vakuuma:Turbo{0}}molekularne pumpe (ili pumpe za difuziju ulja opremljene hladnim zamkama tečnog azota) postižu krajnji osnovni pritisak ispod 5,0 × 10^-4 Pa, eliminišući preostalu vodenu paru i zagađenje kiseonikom.

Zaptivanje i sklop ventila:Pneumatski visoko{0}}vakumski zasuni, elastomer/metal-zapečaćene prirubnice (ISO/CF) i zavarivanje testirano na curenje helijuma- (< 1.0 × 10^-10 Pa·m3/s) prevent atmospheric outgassing during long coating cycles.

Target Materials
čisti metali:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, Mo, nerđajući čelik

legure:TiAl, CrAl, SiAl, WC-Co

Materijali podloge
Čelici za alate:H13, M2, D2, brzorezni čelik (HSS)

Cementirani karbidi:WC-Co umetci i krajnji glodali

Konstrukcijski metali:Legure titanijuma, nerđajući čelik, mesing i aluminijum (zahtevaju protokole taloženja na niskim{0}}temperaturama)

Alati za rezanje i oblikovanje:Nanošenje TiN, TiAlN i AlCrN na krajnje glodalice, bušilice, glodalice i kalupe za štancanje za povećanje površinske tvrdoće do 3000 HV i produženje vijeka trajanja alata za 3x-5x.

Automobilske komponente:Premazi{0}}niskog trenja (DLC ili CrN) koji se nanose na klipne prstenove, klinove za ubrizgavanje goriva i topove za smanjenje mehaničkog habanja i parazitskog gubitka snage.

Hardver i sanitarna oprema:Decorative, wear-resistant hard gold, rose gold, black (TiCN, ZrN), and stainless steel tones applied to architectural door hardware and bathroom fixtures with proven salt spray corrosion resistance (>240 sati).

Geometrija komore:Vertikalno utovar (-montaža na jamu ili pod-stojeći) ili horizontalna prednja- konfiguracija utovara.

Integracija hibridnog taloženja:Kombinirajte izvore katodnog luka sa katodama za magnetno raspršivanje velike-impulsa (HIPIMS) ili neuravnoteženo magnetronsko raspršivanje (UBM) u jednoj komori za hibridne funkcionalne slojeve.

Interfejs za automatizaciju:Prilagođena integracija SCADA softvera sa fabričkim MES-om (Maufacturing Execution System) za daljinsko praćenje serije i automatizovano rukovanje robotom za učitavanje.

Korisne adaptacije:Fabrički{0}}specifična podešavanja temperature/pritiska rashladne vode i lokalizovana usklađenost napona električne mreže (npr. 380V/480V, 50Hz/60Hz, 3-fazni).

Vakuumska detekcija curenja:Ispitivanje curenja helijum masenog spektrometra obavljeno je na svim tijelima komora, zavarenim šavovima i razdjelnicima ventila.

Provjera električne sigurnosti:Ispitivanje otpora izolacije, kontinuiteta uzemljenja i visokog-potencijala (hipot) obavljeno u skladu sa CE/UL električnim normama.

Funkcionalno trčanje na suho:72-satno kontinuirano testiranje ciklusa mehaničkih rotacijskih pogona, pneumatskih ventila i grijaćih elemenata bez ciljanog paljenja.

Provjera depozicije uzorka:Probno nanošenje premaza na podlogama koje-isporučuje klijent; uzorci procijenjeni putem testa sa kugličnim-kraterom (adhezija) i Calotest/XRR (mjerenje debljine filma).

Pre{0}}Vodič za instalaciju:Dati detaljni crteži temelja i komunalnih objekata koji pokrivaju specifikacije opterećenja poda, protok rashladne vode (m3/h), zahtjeve izduvnih kanala i dimenzioniranje električnih sabirnica.

Na-Puštanje u rad na lokaciji:Inženjeri na terenu su poslani za mehaničko poravnanje, provjeru curenja vakuuma, električno povezivanje, početno podešavanje recepta procesa i obuku operatera.

Paket dokumentacije:Kompletna isporuka uključuje električne šeme, PLC izvorne logičke sažetke, priručnike za vakuumske komponente, stabla za rješavanje problema u održavanju i rasporede zamjene potrošnog materijala.

Podrška za daljinsku dijagnostiku:Sigurna VPN{0}}omogućena integracija rutera omogućavajući procesnim inženjerima da se prijave na HMI interfejs za dijagnozu parametara u stvarnom-vremenu i ažuriranja softvera.

Inventar rezervnih dijelova:Namjenska zaliha kritičnih zamjenskih artikala (katodne mete, izolatori, zaptivke ventila) održavana za brzu otpremu kako bi se smanjilo vrijeme zastoja u liniji.